超净工作台怎么校准，超净工作台仪器校准步骤

洁净工作台泄漏检测
发送高校空气过滤器上游侧，使用采样器对高效过滤器下游约2.5cm处的检漏仪进行检查扫描，检查速度小于等于每秒5cm。当下游浓度与上游浓度之比大于0.01%时，认为洁净工作台存在明显泄漏，应停止泄漏。
洁净工作台的清洁度
采样时可使用28.3/min的尘埃粒子计数器或小流量尘埃粒子计数器，但采样量应小于1升。当进气口的气溶胶浓度达到稳定状态时，在距主过滤器或整流栅出口250毫米处的平行段中心连续测试5次，取平均值。
洁净工作台风速
在主过滤器或扩散器下游10cm的平面上，将平面区域分成至少12个相等的区域。每个区域的中心为风速测试点，每个测试点之间的距离不应大于25cm。用热球风速计或热敏电阻风速计测量各点风速，取平均值作为截面风速。
洁净工作台噪音
噪声环境是在相对开阔、反射强烈的室内地面上测量的。如果设备操作区开口处有挡板，应全部打开，并特别注意避免气流引起的风压和振动的影响。噪声测量点应布置在工作台中心，距离工作台前缘20cm，高度110cm，共四次，取平均值作为测量结果。
洁净工作台振动
洁净的工作台应放在震动小的地面上，避免周围环境的影响。在正常操作环境下，工作台会将振动分析仪的拾振装置放置在操作面的几何中心，测量x、Y、z、Y、z三个轴的总振动祝福值。
洁净工作台照明
正负1.5%以内，100 kV范围的频响误差比较大，测量重复性比较低。
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